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电子行业

电子工业是研制和生产电子设备及各种电子元件、器件、仪器、仪表的工业。由广播电视设备、通信导航设备、雷达设备、电子计算机、电子元器件、电子仪器仪表和其他电子专用设备等生产行业组成。

制造半导体前,必须将硅转换为晶圆片,晶圆生产包括:晶棒成长、晶棒裁切与检测、外径研磨、切片、圆边、表层研磨、蚀刻、去疵、抛光、清洗及检验包装工序;研磨过程之后需采用大量的超纯水来洗净晶圆表面所残留的悬浮微颗粒或金属离子污染物,因而产生CMP研磨废液及后段清洗废水。

在液晶显示器的生产过程中要多次涉及到清洗工艺,如所使用的玻璃基板在受入前必须清洗干净,在溅镀ITO导电膜之前还需要清洗干净;除此之外,在涂敷光刻胶等之前都要对玻璃基板进行清洗,将1微米以上的颗粒以及所有的无机、有机污染物清洗干净,保证工艺达到所需要的精度要求。

PCB电路板清洗液过滤以去除清洗过程中引入的杂质,达到清洗循环利用或排放标准;玻璃基板上的污染物,主要来自制造工艺过程以及玻璃基板的搬运、包装、运输、储存过程,主要的污染物有尘埃粒子、纤维纸屑、矿物油和油脂等油垢、氧化硅等无机颗粒、制备加工过程的残留物、水迹、手指印等。